普泰克制冷設備
專注于半導體行業(yè)溫控
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溫濕度調節(jié)裝置在基板曝光前，能有效維持其表面溫度的均一性。經過此設備處理后的空氣，溫度控制精度可達目標值±0.01℃，充分滿足制程環(huán)境對溫控的要求。
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